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    ALCATEL ADS 602H阿尔卡特真空泵

    • 型号ALCATEL ADS 602H 真空泵
    • 品牌阿尔卡特
    • 价格

    ADS 系列的多级罗茨泵是为半导体和光伏生产的中段工艺制程应用而开发,在此类应用中,必须传输少量的腐蚀性气体或冷凝物。该泵是紧凑、高能效的。低噪音和低振动水平是该系列的突出特征。A4 系列泵的抽速可高达 1,800 m3/h,是用防腐材料制成的。介质耐受性以及高气体流通量使这些多级罗茨泵成为半导体行业 CVD 工艺应用的最佳解决方案。ADH 系列专门为太阳能、半导体和 LED 市场的苛刻

    1. 详细信息

    ADS 系列的多级罗茨泵是为半导体和光伏生产的中段工艺制程应用而开发,在此类应用中,必须传输少量的腐蚀性气体或冷凝物。该泵是紧凑、高能效的。低噪音和低振动水平是该系列的突出特征。A4 系列泵的抽速可高达 1,800 m3/h,是用防腐材料制成的。介质耐受性以及高气体流通量使这些多级罗茨泵成为半导体行业 CVD 工艺应用的最佳解决方案。ADH 系列专门为太阳能、半导体和 LED 市场的苛刻工艺应用而开发,为N2 和 H2 提供 600 至 4,500 m3/h 的高性能抽速。由于具有优异的抗静态和动态内应力能力,所以泵能提供更强的安全性。

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