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    爱德华IH600MK5

    • 型号IH600
    • 品牌爱德华
    • 价格

    iH 高真空干泵 iH 系列干泵为高难度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品) 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵,使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计,可改善粉尘的处理,减少排气噪音。此外,iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。功能与优势l  优化了设施消耗l  无需预防性维护l &

    1. 详细信息

    iH 高真空干泵 

    iH 系列干泵为高难度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品) 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵,使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计,可改善粉尘的处理,减少排气噪音。此外,iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。

    功能与优势

    l  优化了设施消耗

    l  无需预防性维护

    l  悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理

    l  在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的CVD应用条件下的稳定性

    l  耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体

    l  较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证

    l  轴杆一体化设计无需电机联轴器,第五抽排级免除对消音器的需求,也避免了颗粒堆积,两者均减少了总体占地空间

    泵系列

    实践证明,Edwards高级半导体真空泵能够达到最高运行标准。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。

    iH系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的PECVD和LPCVD制程)提供了高可靠性。

    众创阳光在维修爱德华干泵系列方面,我司目前拥有1000平方的现代化专业维修车间,有3名经过爱德华原厂培训的维修工程师,在维修爱德华、IH系列、IXH系列、IXL系列、QDP/GV系列、RV系列、EH系列等。有丰富的软件和技术资源储备,能专业快速解决该品牌真空泵各种疑难故障!在降本方面针对爱德华的干泵,我司自行开发出爪片、轴套、油封等配件!在不影响维修质量的前提下,为客户提供更快、更好、更具性价比的维修服务!