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    IXL500Q

    • 型号IXL500Q MKII HV
    • 品牌爱德华
    • 价格

    iXL 高性能干式真空泵机组iXL 系列干泵满足 平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场 领域涉及的所有排气要求。这些性能领先的 泵旨在最大限度地提高基板吞吐量,同时尽可能降低功耗、 占地面积和重量。此外,大修间隔期内无须 维护。适用于半导体和太阳能应用  紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵,用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可 快速抽空负载锁定舱室,能耗极低。可

    1. 详细信息

    iXL 高性能干式真空泵机组

    iXL 系列干泵满足 平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场 领域涉及的所有排气要求。

    这些性能领先的 泵旨在最大限度地提高基板吞吐量,同时尽可能降低功耗、 占地面积和重量。此外,大修间隔期内无须 维护。

    适用于半导体和太阳能应用 

     紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵,用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可 快速抽空负载锁定舱室,能耗极低。可 用于负载锁定和清洁应用的最小且最轻的泵之一。 其低振动和低噪声级的优点使其适合于安装在机台上或 工厂的夹心层中,从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。环保 模式可在空闲期间降低设备使用率,从而降低使用成本, 有助于保护环境。

    众创阳光在维修爱德华干泵系列方面,我司目前拥有1000平方的现代化专业维修车间,有3名经过爱德华原厂培训的维修工程师,在维修爱德华、IH系列、IXH系列、IXL系列、QDP/GV系列、RV系列、EH系列等。有丰富的软件和技术资源储备,能专业快速解决该品牌真空泵各种疑难故障!在降本方面针对爱德华的干泵,我司自行开发出爪片、轴套、油封等配件!在不影响维修质量的前提下,为客户提供更快、更好、更具性价比的维修服务!